Traitement des eaux usées dans les semi-conducteurs

Description du processus

Les circuits intégrés sur des puces à semi - conducteurs sont créées par l' oxydation, la gravure, l' expansion et diverses autres méthodes pour créer une série de diodes de circuit, les transistors et d' autres composants électroniques, remplissant une logique fonctionnelle particulière (ET, OU, NON -ET , etc) pour obtenir un circuit requis une fonction. Production de semi - conducteurs a des exigences élevées de traitement, englobant la lithographie, découpage de précision, de meulage et d' autres processus complexes. Ces procédés de production produit de grandes quantités d'eaux usées avec les différents types de polluants tels que les produits chimiques complexes, des métaux lourds, des polluants organiques, du silicium et des traces de fluor. Applications de traitement de semi - conducteurs eau de refroidissement (PCW) , il faudrait filtration du PCW avant de le réutiliser (voir les demandes de traitement de l' eau).

 

Procédé de nettoyage pour diverses sources d'eaux usées

Application nettoyage moyen Équipement nettoyage effet
photolytique Décapage plasma oxygénées Réacteur Plate supprime les adhésifs
Retrait polymère H₂SO₄: H₂O = 6: 1 Le mélange en réservoir Supprime les composés organiques
Enlèvement d'oxyde naturel HF: H₂O <01:50 Le mélange en réservoir Crée système anaérobie
séchage rotatif N₂Gas Séchoir Il ne produit pas de résidus
RCA-1 (alcaline) NH.OH: H₂O₂: H₂O
= 1: 1: 1,5
Le mélange en réservoir Élimine les particules de surface
RCA-2 (alcaline) HCl: H₂O₂: H₂O
= 1: 1: 5
Le mélange en réservoir Enlève les métaux lourds
DI Nettoyage Eau déminéralisée Le mélange en réservoir Supprime les solvants de nettoyage

Problèmes

• Volume d'eaux usées produites.

la composition des eaux usées complexe, avec une variété de métaux et de contaminants transition tels que:

• Silicon

• Germanium

• Haute teneur en fluor

• eaux usées complexes avec une concentration élevée de COD.

Produits applicables

• Système de filtration à membrane céramique

• Petite empreinte

• Gestion centralisée

• Commande intelligente

La qualité de l' eau de sortie haute

Le phosphate et DCO extraites des eaux usées

• Résistant aux produits chimiques acides

• Longue durée de vie

• Entretien facile

• processus Simplifie sans addition de réactifs


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