Recyclage de silicium coupe des eaux usées

Description du processus

 

Avant la fabrication des semi - conducteurs, le silicium doit être converti en tranches par divers procédés: la croissance des cristaux de silicium, la coupe et l' inspection de la qualité, la réduction des effectifs et des processus de finition de surface par meulage, découpe et gravure pour nettoyer, polir, tester et éliminer les défauts avant l' emballage. Ces procédés de broyage utilisent un grand volume d'eau ultra - pure pour laver la poussière résiduelle ou des contaminants d'ions métalliques sur les puces, produisant des eaux usées après le nettoyage et le polissage CMP.


 

Description du problème

 

  • Une mauvaise évacuation des eaux usées ou directe se traduira par la pollution de l' environnement.

  • L' eau traitée ne peut être recyclé, ce qui entraîne un gaspillage.

  • • Limites dans l' approche traditionnelle (grande surface au sol, grande quantité de produits chimiques de dosage utilisés, volume élevé de boue, qualité de l' eau incompatibles).

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Applications

 

Le surnageant sort du réservoir de liquide surnageant à travers une pompe à l'aide d'eau sous pression pour la filtration progressive de filtration de sac de 10 micromètres, 1 micron filtration de la cartouche, une unité d'adsorption de carbone activé et 0,2 micron filtration de précision finale avant d' entrer dans le réservoir de collecte. L' eau de la cuve de collecte est passé à travers une installation d'osmose inverse à l'aide d' un filtre à membrane céramique pour la microfiltration de surnageants restant pour produire de l' eau ultrapure.


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